
在潔凈室設(shè)計(jì)中為了減少靜電事故,除了產(chǎn)品本身的保護(hù)措施外,設(shè)計(jì)者的責(zé)任就是設(shè)法減小起電程度。減小起電程度并加速電荷的泄漏,可以通過物理的和化學(xué)的方法實(shí)現(xiàn)。物理方法有選擇合適的材料、接地和調(diào)節(jié)空氣濕度。
1材料分三種類型:導(dǎo)電材料、靜電耗散材料和抗靜電材料。表面電阻率低于每單位面積1052,是導(dǎo)電的材料;每單位面積達(dá)到106~102,是靜電耗散的材料;每單位面積達(dá)到1010~1012,是抗靜電的材料。
如果器件已獲得電荷,并與高電導(dǎo)率的已接地表面相接觸,該電荷將迅速排掉,使電流水平可能達(dá)到足夠高,以致可損害該器件??刹捎渺o電耗散材料來減慢放電速率,以減少過快放電帶來的損害。抗靜電材料則具有低靜電產(chǎn)生能力,也可比較慢地排掉電荷。
2接地是消除導(dǎo)體上靜電荷的一種有效方法,這種方法簡單、可靠,不需嬰
很大的費(fèi)用。接地必須符合安全技術(shù)規(guī)程的要求。接地既可將物體直接與地相接,也可以通過一定的電阻與地相接。直接接地法用于設(shè)備、插座板、夾具等導(dǎo)電部分的接地。對(duì)此,需用金屬導(dǎo)體以保證與地的可靠接觸。當(dāng)不能直接接地時(shí),就采用物體的靜電接地。如果物體內(nèi)外表面上任意一點(diǎn)對(duì)接地回路之間的電阻不超過1070,則這一物體可以認(rèn)為是靜電接地。
即使已采用了其他防靜電的方法,工作點(diǎn)的工藝設(shè)備、試驗(yàn)和測量設(shè)備的所有金屬和導(dǎo)電的非金屬部分仍都必須接地。
防靜電的接地裝置和電氣安全接地裝置應(yīng)連接在一起。