
空調凈化系統(tǒng)
一、電子工業(yè)潔凈室空調凈化系統(tǒng)主要形式
電子工業(yè)潔凈室空調凈化系統(tǒng)主要有以下幾種形式:
1垂直單向流集中送風方式;
風機過濾單元送風方式;
隧道送風方式;
非單向流送風加層流罩送風方式;
5
微環(huán)境方式。
以上5種送風方式比較見表9-11。

二、垂直單向流集中送風方式
集中送風方式是一種經典的方式。集中送風方式就是將多臺空調凈化機組集中設置在空調機房內??照{機房可位于潔凈室的側面,也可位于潔凈室的頂層。垂直單向流集中送風方式可適用于大面積和潔凈度級別高的潔凈室。
圖9-5~圖9-7是高級別電子工業(yè)潔凈室應用垂直單向流集中送風的幾種形式。
